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「研磨工程」におけるトラブルシューティング *
本講義では、微細構造検査用試料作製工程の切断・埋込み・研磨・観察において試料作製の第三工程である研磨で起こる不具合とそれぞれの不具合の対応策（トラブルシューティング）をご紹介いたします。
微細構造検査試料作製におけるプロセスは、切断、埋込み、研磨、という各工程において適切な作業が必要です。
後の顕微鏡観察での成功は、試料が適切に作製されているかどうかが決定すると言っても過言ではないものの、微細構造検査用試料作製の「研磨工程」での不具合やミスは、アーティファクトが研磨面に残ってしまった状態を引き起こし、正確な試料観察の足かせとなります。
本講義では、微細構造検査用試料作製工程の切断・埋込み・研磨・観察において試料作製の第三工程である研磨で起こる不具合とそれぞれの不具合の対応策（トラブルシューティング）をご紹介いたします。
講義でご紹介する不具合を知ることで、最終観察面が正確であると判断できたり、対応策（トラブルシューティング）を知ることで不具合の原因を発見できるようになります。さらにトラブルシューティングの知識で不具合を回避でき、再現性がありかつ効率的な研磨作業を行えるようになります。
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