ターゲットシステムの事実
- マイクロ電子部品のターゲット試料作製
- 信頼できる自動ターゲット試料作製
- 可視 / 不可視ターゲットの分析
- 試料作製時間の大幅な短縮
- オペレータの能力に左右されない
- 完全な再現性
- 高価な研磨フィルム不要
ターゲットシステムは、マイクロ電子部品やディレイアリング用のターゲットを作製します。これは、マイクロビアや BGA などの可視／不可視ターゲットをリアルタイムで位置合わせおよび測定する初の不具合分析ツールです。このシステムは、卓越した+/- 5 µmの精度を備えています。
短い試料作製時間
人工知能試料作製システム（IPS）は、実際の試料の特性と研磨／琢磨面に従って研削時間と研削率を自動的に算出します。これにより、測定および試料作製時間が30分以下まで短縮されます。
再生性
プロセスを自動化することにより、ターゲットシステムは、オペレーターの操作から切り離され、オペレーターに左右されることなく再転生を確保します。
作業コストの削減
ターゲットシステムには、あらゆるSiC研磨紙またはその他の消耗品を使用できるため、高価な研磨フィルムは必要ありません。
事例：ボッシュのエンジニアリングセンターのClujは、どのようにして不可視のターゲットを精度5μmに抑えることができたでしょうか
可視／不可視ターゲットの 自動試料作製を可能にする重要なユニット
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ターゲットマスタ
ターゲットシステムの心臓部はターゲットマスタです。ターゲットマスタは、200mm径の微小研磨装置で、試料作成品質とオペレータの安全を確保するために、密閉式の研磨室を装備しています。初期試料作製段階の材料除去作業は、電子測定システムが制御して、目標付近まで急速に材料を除去します。第二段階では、直列式レーザ測定システムが、必要な研磨作業を制御します。
ターゲットマスタ
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ターゲットZ
ターゲットZは、目標位置が見える（外部にある）試料の位置合わせや測定に使用します。最大680倍の視覚システムと15インチのTFTモニタを装備したターゲットZは、微細な目標位置でも簡単に写像したり、位置合わせしたりできます。
ターゲットZ
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ターゲットX
ターゲットXは、目標位置が見えない（内部にある）試料用で、セットアップステーションとコンソールで構成しています。セットアップステーションをユーザーのX線装置（本体に含まれない）内に設置して、外部のコンソールで操作すれば、リアルタイムで位置合わせや測定が可能です。
ターゲットX
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ターゲットドーザ
ターゲットドーザは、自動供給ステーションで、試料作製法と処理液をターゲットマスタに供給します。ターゲットドーザは、7基のポンプを装備しています。また、10件の試料作製法がプログラムされています。さらに、ユーザー定義の試料作製法を200件まで保存できます。
ターゲットドーザ
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ターゲットグリップ
ターゲットグリップは、ターゲットマスタ専用の傾斜可能な試料ホルダです。最大40mm径の埋込みサンプルまで取り付けられます。大形試料用のアダプター（TARIN）、断面切断用のアダプター（TARSC）、平行琢磨用のアダプター（TARPA）、さらには走査型電子顕微鏡（SEM）検査用に、埋込み試料を40mm径から25mm径に調整するアダプター（TARAD）が用意されています。
ターゲットグリップ
製品仕様
機種
ターゲットシステム
ターゲットマスタ
自動ターゲット使用作製用の 200 mm マイクロポリッシャーです。30 mm 試料および 200 mm MD ディスクが付いた角度調整可能なホルダーです。
添加システムは別売りです。
自動ターゲット使用作製用の 200 mm マイクロポリッシャーです。30 mm 試料および 200 mm MD ディスクが付いた角度調整可能なホルダーです。
添加システムは別売りです。
ストルアスの設備は、適用可能な国際的な指令による規制および付帯の基準に準拠しています。ストルアスの製品は、常に製品開発が継続して行われています。したがって、ストルアスは事前に通知することなく製品を変更する権利を有します。
技術データ
ターゲットシステムの技術データシート
ストルアスの技術データシートは、特定の目的に合わせて最高の設備が選択するために役立つものです。容量や性能仕様、寸法、重要、電気データ、ノイズレベル、周囲条件、および安全性など、重要な情報が得られます。ほとんどの場合、高い容量および性能を提供するアクセサリの概要も見ることができます。
テクニカルデータシートをダウンロードする。
研磨と琢磨用消耗品
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MD研磨
アーチファクトがない面出しおよび精研磨用
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炭化ケイ素フォイルおよび研磨紙
面出しと精研磨用
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ダイヤモンドパッド
超硬質材料の面出しと精研磨用
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琢磨布
あらゆる材料と試料作製目標用
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ダイヤプロ
特定の琢磨布に最適化されたオールインワンタイプのダイヤモンドソリューション
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ダイヤデュオ-2
オールインワンタイプのダイヤモンドソリューション
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DP-製品
広範囲の粒度と製品タイプで使用可能なダイヤモンド懸濁液
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DP-ルーブリカント
琢磨中の正確な冷却と潤滑用
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酸化物研磨
傷や変形がない時
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課題
ルーマニアのロバートボッシュ自動車エレクトロニクス部門は、電子基板の断面作製の仕上がりを改善する方法を模索していました。 試料を変形させずににBGA （エレクトロニクス部品)の表面下に隠れた非常に小さいターゲットの試料を作製することが課題でした。
解決策
ストルアスアプリケーションチームとの協力で、変形を最小限に抑える新しい試料作製工程がロバートボッシュSRLのために開発されました。 切断機は、可視と非可視の両ターゲットの試料を自動作製するTargetSystemとAccutom精密切断機を選定しました。
結果
ロバートボッシュはTargetSystemで以下のような成果を上げました：
• +/- 5 µmという見事な精度結果と品質の向上
• 琢磨／研磨作製時間の短縮
• 消耗品の削減による時間とコストの節約
アレクサンドル・シエアン、不具合分析技術者 ロバートボッシュSRL – ボッシュエンジニアリングセンタークルージュ
事例を読む
適切な試料作製ソリューション
「実構造には、適切なアプリケーションが必要です。材料の特性が異なれば、幅広いアプリケーションの知識が必要です。試料作製ソリューションを適切に選択するためには、アプリケーションの知識が不可欠であるため、ストルアスのアプリケーションスペシャリストは、試料作製方法を最適化するエキスパートです。お客さまの材料が当社のアプリケーションソリューションです」
Birgitte Nielsen
アプリケーションスペシャリスト、Struers ApS
弊社のお客さまの紹介
Struersの装置とソリューションを使用されているお客様に、Struersを採用した感想を聞きました。
約30年以上に渡り、Struersの装置と消耗品を使用しています。他社にはないサービスとアプリケーションサポートに多く助けられています。John Crane UK Ltd.（英国） Bill Taylor 材料および犯罪科学エンジニア
高度な要求に応えるサービスに大変満足しています。私たちの要求に迅速、かつ効果的に応えてくれました。BRP Powertrain GmbH & Co.KG （オーストリア） Thomas Brunmair 材料ラボ責任者
Struersの装置を採用し、生産工程時間の低減、生産性の向上に成功しました。結果、製造プロセスの大幅なコストダウンを実現しました。Nissan Motor Manufacturing UK Ltd. John Smart 製造責任者